昨年7月、日本は韓国をホワイト国から排除し、半導体核心素材の輸出を規制しました。 当時日本は極紫外線（EUV）用フォトレジスト、フッ化リンポリイミド、フッ化水素など半導体·ディスプレー製造に必要な3品目の輸出を個別許可に変え、事実上韓国への輸出の道を塞いで来たが、この品目に対する韓国の日本輸入依存度が90%に迫る状況なので、「日本が韓国の最も痛いところをついたという非難が殺到しました」。
日本への輸出規制から1年が経った今、苦痛を乗り越えて立ち上がり、韓国はかえって半導体産業を素材·部品·装備まで広く眺めるようになり、素材·部品·装備の国産化の風が吹きました。 このうち、最も進んだ成果を見せる分野は何だろうか？フッ化水素です。
◇フッ化水素、数百段階の工程…不要な部分を削り、不純物を洗い流し
ウェハー1枚が半導体として誕生する為には、短くて1ヶ月、長くて2ヶ月の間に拡散工程、フォト工程、エッチング工程、蒸着工程、イオン注入工程などを数百段階の工程を経ることになります。 このフッ化水素は半導体のエッチング工程と洗浄工程に使われる核心素材です。
フッ化水素は水素とフッ化物によって誕生した化合物で、フッ化水素とも呼ばれます。 水素と結合されたフッ素は、フッ素という名でよく知られている元素です。 反応性が強く、プラスチックやガラスを溶かす性質があります。この性質を利用して半導体のエッチング工程では回路パターンの他に不必要な部分を腐食するのに使用し、濃度を薄めて不純物を取り除くための洗浄工程でも使用しています。
◇フッ化水素の日本からの輸入額は85.8%急減、気体フッ化水素も生産可能
現在、フッ化水素の日本からの輸入額はどれくらいだろうか？韓国貿易協会によると、今年1~5月のフッ化水素の日本からの輸入額は403万3000ドルで、前年同期の2843万6000ドルより85.8%急減しました。 フッ化水素の日本への輸入の割合も、昨年同期の43.9%から今年は12.3%へと大幅に下がりました。
ところが、フッ化水素はガスの状態と液体状態がありますが、 半導体の微細工程水準が上がるほど液体よりは気体形態のフッ化水素がもっと多く使われます。フッ化水素の沸騰点が19.5℃で、常温（25℃）では気体の状態で存在し、十分に低い温度であったり、高い圧力を加えたりする場合は液体状態になります。 原材料といえるガス状のフッ化水素を、もともと日本がしっかり握っていました。
昨年末、SK（034730）グループの素材系列会社、SKマテリアルズ（036490）が超高純度フッ化水素ガスの試作品開発に成功しました。 先月17日から超高純度（純度99.999%）フッ化水素ガスの量産に入り、23年までにフッ化水素ガスの国産化率を70%水準に引き上げる計画だ。
また、現在液体フッ化水素工場を増やしたソルブレイン（036830）とラムテクノロジー（1710-10）は昨年、三星（サムスン）電子（005930）とSKハイニックス（000660）に安定的に液体フッ化水素を供給し、気体フッ化水素の開発に取り組んでいます。 気体フッ化水素まで国産化するのに時間は長くかからないと思います。
韓国の反応
・真の輸入代替品目は半導体装備である。半導体装備を国産化せよ
・日本に考えがあったのなら、韓国が素材、部品装備を国産化せず、自国の物を使用し続けるために安く供給していれば良かったのに、韓国の国産化を進める事に成ったね
・核心部品や基礎産業、物品など、一日でも早く生産して日本に頼らない様に自給をしないと
・安倍は大韓民国を夢から覚ました立役者、これからも大韓民国のために良い事を沢山して下さい
・我々は安倍のお蔭で内需が活性化し、就職率アップして、その力でコロナ事態に耐えるんだ
・昨年にある程度国産化出来て居て良かった。今回のコロナ事態と輸出規制まで一緒に来ていたらむごかった
・虫の様な土着倭寇は必ず撲滅しなければならない
・我々は力を合わせれば国産化出来るよ
・日本を庇護する奴らは土着倭寇の奴らである
・未来統合党が政権を握っていたら、安倍首相の前にひざまずいていただろう
・愚鈍な安倍氏の自業自得、貴様たちの敗亡への近道~
・日本の韓国への輸出額のうちフッ化水素は0.01%程度、日本が韓国にフッ化水素を売らなくても0.01%の損害だが、しかし、韓国企業にとってはとても重要な素材
・二度と日本にやられないように、最後まで国が努力して日本に見せなければならない
・国産化と多角化による対日依存度の低下が、長期的に敵性国家に政治変化による国内企業の損失をなくす方法です
・李舜臣将軍の「倭寇は奸事きわまりなく、これまで信義を見せたという話を聞いたことがない」と伝えるメッセージを教訓にしなければならない
・倭寇は掃討すべき対象に過ぎない
・日本製品が0になるまで大韓民国はしっかりしよう
・まだ15%近く輸入する理由は？ そして韓国に工場を移すことを許可する理由は？
